第三章 机械加工表面质量及其控制 - 图文

3.2.3 表面粗糙度和表面微观形貌测量表面三维微观形貌测量表面三维形貌测量与处理系统原理图1－驱动2－撞块3－电触点4－触针5－工作台6－工件7－步进电机8－控制电路9－驱动电路10－放大电路11－A/D变换器12－微机13－显示器14－打印机173.2.3 表面粗糙度和表面微观形貌测量TOPO移相干涉显微镜光学原理图1－光源2、4、12－透镜3－视场光阑6－干涉滤光片7－CCD面阵探测器8－输出信号9－目镜10－分光镜11－压电陶瓷13－反射镜14－参考基准板15－分光板16－被测工件183.2.3 表面粗糙度和表面微观形貌测量相位值：?(x,y)?tan?1I4(x,y)?I2(x,y)I1(x,y)?I3(x,y)?/2?轮廓高度：Z(x,y)??(x,y)??(x,y)2?4?a）b）表面微观形貌a）表面形貌干涉条纹b）表面三维形貌19机械制造技术基础第3章机械加工表面质量及其控制Analysis and Control of Machining Surface Quality3.3影响表层物理性能工艺因素及其改进措施Technology Factors Influencing Surface Physics Performance and its Improving20