二、扫描电镜的构造
?真空系统
如果真空度不足，除样品被严重污染外，还会出现灯丝寿命下降，极间放电等问题。对于像Sirion200型这种场发射灯丝扫描电镜而言，样品室的真空一般不得低于，它由机械真空泵和分子泵来实现；电镜镜1×10-5Pa筒和灯丝室的真空不得低于4×10-7Pa，它由离子泵来实现。
二、扫描电镜的构造
?信号的收集、处理和显示系统样品在入射电子束作用下会产生各种物理信号，有二次电子、背散射电子、特征X射线、阴极荧光和透射电子。
不同的物理信号要用不同类型的检测系统。它大致可分为三大类，即电子检测器、阴极荧光检测器和X射线检测器。
二、扫描电镜的构造
常用的检测系统为闪烁计数器，它位于样品上侧，由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成，如图5所示。二、扫描电镜的构造
图5 电子检测器
