附件15．
洁净室压差监测记录 HVAC系统编号 型 号 房间编号 压差设计 要 求 检测 仪器 检测 方法 ＼＼日期 时间＼＼＼ 结果评价 检测数据 检测人员： 年 月 日 房间名称 系统名称 系列号 洁净级别 确 认 工程部 年 月 日 验证委员会 年 月 日
附件16．
洁净区侵入粒子测定记录
年 月 日 m／AC系统编号 型 号 房间编号 检测 仪器 检测 方法 室外粒子浓度 检测结果 测点 编号 检测结果 计算及评价 检测人员： 年 月 日 测点 位置 检测数据 房间名称 系统名称 系列号 洁净级别 确 认 工程部 ． 年 月 日 验证委员会 年 月 日
请将检测过程中的记录图纸贴附于背面。
附件17．
洁净室自净时间
测试结果及评价记录
年 月 日 HVAC系统编号 型 号 房间编号 检测 仪器 检测 方法 测点 编号 检测结果 计算及评价 检测人员： 年 月 日 测点 位置 实测数据 房间名称 系统名称 系列号 洁净级别 确 认 工程部 年 月 日 验证委员会 年 月 日
附件18．
洁净室温度、相对湿度 检测结果及评价记录 HVAC系统编号 系统名称 型 号 房间编号 房间名称 系列号 洁净级别 温度、相对湿度 控制要求 检测 仪器 检测 方法 检测数据 ＼＼日期 时间＼＼＼ 结果评价 检测人员： 年 月 日 确 认 工程部 年 月 日 验证委员会 年 月 日
