D 特气仪表参数值是否在正常范围内；
A、B、C三部分，目视其各个联接头之间是否有颜色异常，如果有淡黄色的粉尘存在，就要做出更一步的细致检查与紧固相应接头；
D部分，察看各气体压力值是否在标准范围内，压力值不能过大也不能过小；
6 目检PECVD真空泵进出气管路是否异常（详见[真空泵运行是否正常]）
7 查看CMI电脑中显示加热电流状况
A PECVD炉内、外温度设定及实际值；
B PECVD设备待机时的标准参数状况；
SLS=UP Scrubber=OFF Setpos= 0mm TGA= YES Door=Closed Actpos= 0mm Lift= ready PLC=OK Tube=ready Boat Stop=0 Boat Homed=1 Boat RefOK=1 C 加热电流百分比状况；
8 查看尾气NAOH情况
目前NaOH都为自动加液，查看它是为了保证NaOH没有溢出的异常现象；
9 目检设备有无漏水
A 确保PECVD机台各个冷却水接入口没有漏水现像；
B 确保PECVD机台内部可控硅冷却水接口没有漏水现像；
10 查看冷却水流量
A 炉门口冷却水流量检查（共四个流量计）；
B 加热区上方冷却水流量检查（共五个流量计）；
C 炉门尾冷却水流量检查（共四个流量计）；
