图12 转子 500 Hz 转动径向位移信号图
图13 加入隔层转子 500 Hz 转动径向位移信号图
2.3 结论
2.3.1所研制的差动变压器式位移传感器在测试范围内线性度可达±1.38%，灵敏度为 20.18 mV/μm，截止频率在 800 Hz 左右，安装到5自由度磁悬浮试验台能实现高速运转，试验结果表明差动变压器式位移传感器能够满足一般磁悬浮轴承的应用要求。
2.3.2 加入非导磁隔层后理论上不影响差动变压器式位移传感器的磁路，所以不会影响差动变压器式位移传感器的性能，但从实际的试验显示，加入隔层后传感器性能受到影响，效果变差。加入隔层后影响传感器性能的因素还须进一步研究，为差动变压器式位移传感器应用于特殊应用场合的磁悬浮轴承系统提供科学依据。
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3 结语
差动变压器式传感器抗干扰能力强，测量精度高，输出功率大，输出电压相位能反映转轴的偏移方向；而涡流传感器则具有体积小，有良好的动、静态特性，输出信号强，抗噪，灵敏度高的特点。因此这两类传感器在磁悬浮轴承中比较常见。磁悬浮轴承对传感器具有较高的要求，需要两种传感器相互配合使用，以达到效率最大化。
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