第08章-离子注入工艺 - 图文

离子注入技术硬件设备

离子注入机

离子注入机示意图

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离子注入机的组成

?气体系统

–降低危险气体渗漏风险，离子注入机内的气柜专门存储化学药品

?电机系统

–离子加速高压直流电源、离子源供电系统、质谱仪磁铁电源

?真空系统

–射线必须在高真空状态下减少带电离子和中性气体分子发生碰撞的概率

?控制系统

–精确控制离子束的能量、电流和离子种类，控制机械部分和节流阀

?射线系统

–离子源、萃取电极、质谱仪、后段加速系统、等离子体注入系统、终端分析仪

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射线系统

离子注入机的射线系统

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