射线系统
?离子源
–热灯丝离子源、射频离子源、微波离子源
?萃取系统
–负偏压萃取电极将离子从离子源内的等离子体中抽出并加速到~50keV
?质谱仪
–精确选择所需的离子并排除不需要的离子
?后段加速系统
–射束电流控制、后段加速、离子束聚焦、射线形状控制
?电荷中性化系统
–等离子体注入系统、电子枪、电子淋浴器
?晶圆处理器
–旋转轮式系统、旋转盘式系统、扫描离子束系统、扩展离子束系统
?射线阻挡器
–吸收离子束能量，测量射束电流、能量和形状的离子束监测器
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热灯丝离子源
热灯丝离子源
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射频离子源和微波离子源
射频离子源示意图微波离子源示意图
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萃取系统
离子束萃取系统示意图
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