三、超精密加工的实现条件
超精密加工是多学科交叉的综合性高新技术
① 超精密加工的机理与工艺方法； ② 超精密加工工艺装备； ③ 超精密加工工具；
④ 超精密加工中的工件材料； ⑤ 精密测量及误差补偿技术；
⑥ 超精密加工工作环境、条件等。
在超精密加工的中，必须综合考虑以上因素。
第二节 超精密机床及其关键部件
一、典型超精密机床
超精密加工对机床的基本要求：
⑴ 高精度 ⑵ 高刚度 ⑶ 高稳定性 ⑷ 高自动化
大型光学金刚石车床
——LODTM
FG-001超精密机床
OAGM 2500大型超精密机床
AHNIO型高效专用车削、磨削超精密机床
二、超精密机床的主轴部件
主轴部件是保证超精密机床加工精度的核心。超精密加工对主轴的要求是极高的回转精度，转动平稳，无振动。
液体静压轴承主轴
空气静压轴承主轴
⑴ 双半球空气轴承主轴
⑵ 径向—推力空气静压轴承主轴
⑶ 球形—径向空气轴承主轴
⑷ 立式空气轴承主轴
主轴的驱动方式
⑴ 柔性联轴器驱动 ⑵ 内装式同轴电动机驱动
超精密机床主轴和轴承的材料
应考虑以下主要因素：① 耐磨损；② 不易生锈腐蚀；③ 热膨胀系数小；④ 材料的稳定性好。
