答：用以帮助稳定chamber温度 如何在chamber建立真空?
答：(1) 首先确立chamber parts组装完整(2) 以dry pump作第一阶段的真空建立(3) 当圧力到达100mT时再以turbo pump 抽真空至1mT以下 真空计的功能为何?
答：侦测chamber的压力,确保wafer在一定的压力下 process Transfer module 之robot 功用为何?
答：将wafer 传进chamber与传出chamber之用 何谓MTBC? (mean time between clean)
答：上一次wet clean 到这次wet clean 所经过的时间 RF Generator 是否需要定期检验?
答：是需要定期校验;若未校正功率有可能会变化;如此将影响电浆的组成 为何需要对etch chamber温度做监控?
答：因为温度会影响制程条件;如etching rate/均匀度
为何需要注意dry pump exhaust pressure (pump 出口端的气压)?
答：因为气压若太大会造成pump 负荷过大;造成pump 跳掉,影响chamber的压力,直接影响到run货品质
为何要做漏率测试? (Leak rate )
答： (1) 在PM后PUMP Down 1~2小时后;为确保chamber Run 货时,无大气进入chamber 影响chamber GAS 成份(2) 在日常测试时,为确保chamber 内来自大气的泄漏源,故需测漏 机台发生Alarm时应如何处理?
答：(1) 若为火警,立即圧下EMO(紧急按钮),并灭火且通知相关人员与主管(2) 若是一般异常,请先检查alarm 讯息再判定异常原因,进而解决问题,若未能处理应立即通知主要负责人 蚀刻机台废气排放分为那几类? 答：一般无毒性废气/有毒酸性废气排放 蚀刻机台使用的电源为多少伏特(v)? 答：208V 三相
干式蚀刻机台分为那几个部份?
答：(1) Load/Unload 端 (2) transfer module (3) Chamber process module (4) 真空系统 (5) GAS system (6) RF system
